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  • 蘭迪時訊-肖特在日本推出新型光敏玻璃

    來源:蘭迪機器   瀏覽次數:2025   發布時間:2016-05-20

    德國的特種玻璃廠商肖特(SCHOTT)將在日本市場推出光敏玻璃“FOTURAN II”,該產品可在紫外線照射下結晶化,可用做半導體及生物技術領域的玻璃基板。

    在紫外線照射下,玻璃本身會發生變質,再經過熱處理就會結晶化(陶瓷化),成為光敏玻璃。無需使用光刻膠,只用氫氟酸即可僅蝕刻結晶化的部分。肖特新產品的特點是,玻璃部與陶瓷部的刻蝕選擇比高達30比1,容易加工。

    使用光刻膠蝕刻普通玻璃時,蝕刻會向各向同性發展,因此很難實現高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分,從原理上來說沒有深寬比限制,因此能夠實現20~30μm的微細圖案加工。

    曝光時推薦使用波長320nm的紫外線,可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線激光器時掃描耗費時間,但不需要掩模。而且,利用激光的焦點,還可實現玻璃基板內部的隧道結構(橫孔)等復雜的立體結構,而使用以往蝕刻技術時必須要層疊玻璃才能實現。實際上,目前已有客戶瞄準微流體展開制造,因此有望成為無需掩模即可制造少量生產的MEMS等的手段。

    新產品在晶圓狀時能夠以最大300mm(12英寸)的尺寸供應。在片狀時能以最大200mm見方的尺寸供應。

    除此之外,肖特還在日本展出用于創意家電等的光敏玻璃(玻璃陶瓷),以及已開始在智能手機指紋傳感器蓋板中采用的超薄板玻璃等產品。

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