蘭迪鋼化爐近日了解到肖特（SCHOTT）將在日本市場(chǎng)推出光敏玻璃“FOTURAN II”，該產(chǎn)品可在紫外線照射下結(jié)晶化，可用做半導(dǎo)體及生物技術(shù)領(lǐng)域的玻璃基板。

在紫外線照射下，玻璃本身會(huì)發(fā)生變質(zhì)，再經(jīng)過(guò)熱處理就會(huì)結(jié)晶化（陶瓷化），成為光敏玻璃。無(wú)需使用光刻膠，只用氫氟酸即可僅蝕刻結(jié)晶化的部分。肖特的產(chǎn)品的特點(diǎn)是，玻璃部與陶瓷部的刻蝕選擇比高達(dá)30比1，容易加工。

使用光刻膠蝕刻普通玻璃時(shí)，蝕刻會(huì)向各向同性發(fā)展，因此很難實(shí)現(xiàn)高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結(jié)晶化的部分，從原理上來(lái)說(shuō)沒(méi)有深寬比限制，因此能夠?qū)崿F(xiàn)20～30μm的微細(xì)圖案加工。